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        首頁 >>> 產品展示 >>> 愛德華 >>> 真空泵 >>> STP301 STP603英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
      產品名稱: 英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
      產品時間: 2019-04-15
      產品型號: STP301 STP603
      產品特點: Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現性能,大的制程靈活性。STP301 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

      英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603 的詳細介紹

      英國愛德華渦輪分子泵STP301、STP603 ISO100 入口 KF25 出口

      概述

      Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。STP301 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。
       
      此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網。
        
      如需完整安裝,請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
       

      應用

      • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
      • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
      • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
      • 濺射
      • 離子注入源,射束線泵送端點站
      • MBE
      • 擴散
      • 光致抗蝕劑脫模
      • 晶體/晶膜生長
      • 晶片檢查
      • 負載鎖真空腔
      • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
      • 高能物理:射束線、加速器
      • 放射線應用:融合系統、回旋英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

        功能和優勢

        先進的轉子技術  

      • 大的制程靈活性

      • 無油

      • 低振動

      • 高度可靠

      • 免維護

      • 先進的控制器設計  

      • 自動調整

      • 自行診斷功能

      • 直流電機驅動

      • 無電池運行

      • 緊湊型設計  

      • 占地面積小

      • 半機架控制器

        技術データ

        入口法蘭ISO100,CF100
        出口KF25
        抽速 
          N2300 ls-1
          H2300 ls-1
        壓縮比 
          N2>108
          H2>2 x 104
        加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
        加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa (10-10 Torr)
        大允許進氣口壓力(環境空氣冷卻)0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
        大連續出口壓力(環境空氣冷卻)13 Pa (0.1 Torr)
        額定速度48000 rpm
        啟動時間3 min
        高入口法蘭溫度120 °C
        輸入電壓100 至 120 (± 10%) V 交流或
         200 至 240 (± 10%) V 交流
        啟動時的功耗0.55 kVA
        泵重量11 kg
        控制器重量7 kg

       蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

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      一、進口真空泵維修:
      1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
      2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
      3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
      4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
      5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
      6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
      7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
      8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
      9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
      10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
      11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
      12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

      二、進口真空泵配件銷售:
      1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
      2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

      三、進口真空油銷售:
      品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

       

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