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      產品名稱: 英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
      產品時間: 2019-04-21
      產品型號: STP1003 STP1003C
      產品特點: Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于先進的半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

      英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修 的詳細介紹

      英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進氣口

      概述

      Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于先進的半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

      應用

      • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
      • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
      • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
      • 濺射
      • 離子注入源,射束線泵送端點站
      • MBE
      • 擴散
      • 光致抗蝕劑脫模
      • 晶體/晶膜生長
      • 晶片檢查
      • 負載鎖真空腔
      • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
      • 高能物理:射束線、加速器
      • 放射線應用:融合系統、回旋

        功能和優勢

        先進的轉子技術  

      • 大的制程靈活性

      • 無油

      • 低振動

      • 高度可靠

      • 免維護

      • 可用于嚴苛制程(C 型)

      • 使用壽命延長

      • 先進的控制器設計  

      • 自動調整

      • 自行診斷功能

      • 直流電機驅動

      • 無電池運行

      • 緊湊型設計  

      • 占地面積小

      • 半機架控制器英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

        技術數據

        入口法蘭ISO200F
        出口KF40
        吹掃口KF10
        抽速 
          N21000 ls-1
          H2800 ls-1
        壓縮比 
          N2>108
          H2>105
        加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)10-7 Pa
         (10-9 Torr)
        加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
         (10-10 Torr)
        大連續出口壓力13 Pa
         (0.1 Torr)
        額定速度35000 rpm
        啟動時間6 分鐘
        高入口法蘭溫度120 °C
        輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
         至 240 (± 10) V 交流
        啟動時的功耗0.8 kVA
        泵重量31 kg
        控制器重量9 kg

       蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

      常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修
      如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

      紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

      廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

      荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

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