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      產品名稱: 愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵
      產品時間: 2019-04-21
      產品型號: STPA803C STPA1303C
      產品特點: Edwards STPA803C 渦輪分子泵是為半導體應用而設計的。Edwards 的先進轉子技術可實現的性能和大的制程靈活性。STPA803C 已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵

      愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵 的詳細介紹

       

      英國愛德華渦輪分子泵STPA803C ISO160F 進氣口

       

      概述

      Edwards STPA803C 渦輪分子泵是為半導體應用而設計的。Edwards 的先進轉子技術可實現的性能和大的制程靈活性。STPA803C 已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵

      應用

      • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
      • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
      • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
      • 濺射
      • 離子注入源,射束線泵送端點站
      • MBE
      • 擴散
      • 光致抗蝕劑脫模
      • 晶體/晶膜生長
      • 晶片檢查
      • 負載鎖真空腔
      • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
      • 高能物理:射束線、加速器
      • 放射線應用:融合系統、回旋愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵

        功能和優勢

        先進的轉子技術 

      • 大的制程靈活性

      • 無油

      • 低振動

      • 高度可靠

      • 免維護

      • 可用于嚴苛制程

      • 使用壽命延長

      • 先進的控制器設計 

      • 自動調整

      • 自行診斷功能

      • 直流電機驅動

      • 無電池運行

      • 緊湊型設計 

      • 占地面積小

      • 半機架控制器

        技術データ

        入口法蘭ISO160F
        出口KF40
        吹掃口KF10
        水冷卻接頭PT1/4
        抽速 
          N2800 ls-1
          H2520 ls-1
        壓縮比 
          N2>108
          H2103
        加熱時的極限壓力10-7 Pa (10-9 Torr)
        大連續出口壓力270 Pa (2 Torr)
        大氮氣吞吐量1500 sccm
        額定速度32500 rpm
        啟動時間7 分鐘
        高入口法蘭溫度120 °C
        輸入電壓200 至 240 (± 10) V 交流
        功耗0.85 kVA
        泵重量39 kg
        控制器重量9 kg

       蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
      如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵

      一、進口真空泵維修:
      1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
      2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
      3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
      4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
      5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
      6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
      7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
      8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
      9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
      10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
      11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
      12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

      二、進口真空泵配件銷售:
      1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
      2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

      三、進口真空油銷售:
      品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

       

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